Китайская Jiangsu Haisi Semiconductor завершила заводские настройки и приняла установку Mask Aligner для 8-дюймовых пластин на стадии подготовки к поставке, что свидетельствует о переходе компании к выпуску оборудования для 200-мм пластин на коммерческом рынке. После проверки заказчиком оборудование было принято и готово к отправке клиенту, что подтверждает выход на рынок готового литографического комплекса.

Mask Aligner относится к фотолитографическому оборудованию: оно переносит изображение с фотомаски на подложку, покрытую фоторезистом. В описании проекта эта функция подчеркивается как основная для формирования рисунка в процессе производства Micro LED на кремниевой основе.

Установка рассчитана на обработку кремниевых пластин диаметром 200 мм и ориентирована на массовое производство Micro LED на кремниевой основе, что подчёркивает её назначение именно для работы с пластинами нужной номенклатуры.

Оборудование оборудовано двумя автоматическими системами загрузки и выгрузки Smart Modular Interface (SMIF), а также двумя независимыми транспортными узлами с парой роботизированных манипуляторов в каждом. Точность совмещения по лицевой стороне заявлена менее чем ±0,5 мкм. Для выравнивания применена полностью автоматическая трёхточечная система на воздушной подвеске, позволяющая работать с тонкими и деформируемыми пластинами.

Jiangsu Haisi Semiconductor специализируется на контактном литографическом оборудовании. Производственные площадки компании находятся в Сучжоу и Чэнду; ранее установки её поставлялись научным лабораториям университетов и исследовательским организациям.