По данным американского Центра технологий и государственного управления (CTS) во Вашингтоне, у Китая скопилось 343 иммерсионных DUV‑сканера ASML — техники, способной формировать узоры с разрешением, достаточным для 7‑нм технологического узла. Самое распространённое решение среди них — NXT:1980i; таких аппаратов на китайских фабриках насчитывается 270. Ещё 28 позиций занимают более современные NXT:2050i и NXT:2000i. По словам CTS, Китай выкупил большую часть выпуска иммерсионной литографии в 2024–2025 годах, потратив свыше 13 млрд долларов.

Ситуацию с экспортным контролем, введённым Нидерландами в 2023 году против моделей NXT:2000i и выше, описывают как неустранённую проблему. Модели NXT:1980i под ограничения не попали и продолжали попадать в Китай без лицензий до сентября 2024 года; даже после расширения санкций отдельные поставки могли получать одобрение. В итоге в 2024 году было поставлено примерно 90 машин, в 2025‑м — около 89, что составляет около 70% и 68% мировых продаж иммерсионных систем ASML за эти годы. CTS также отмечает доступность на вторичном рынке подержанных систем NXT:1980Di.

Иллюстрация в материалах — сам источник изображение: ASML.

Эксперты CTS подчёркивают: характер санкций оказался неэффективным. Ожидалось, что без EUV‑литографии 7‑нм узел недостижим, однако иммерсионный DUV в сочетании с мультипаттернингом позволяет обойти этот барьер, пусть и требуя больших расходов на пластины, время и деньги. Для Китая это остаётся практичным компромиссом.

Авторы доклада выдвигают жёсткий сценарий: полный запрет экспорта любых иммерсионных DUV‑систем в Китай и ограничения на поставки запчастей и сервисного обслуживания уже установленных на передовых фабриках машин. Предложение соответствует двухпартийному законопроекту MATCH Act, внесённому в Конгресс в апреле. Доля Китая в выручке ASML была 41% в 2024 году и 33% в 2025 году, а во втором квартале 2026 года снизилась до 14%; тем не менее оборудование, купленное ранее, продолжает работать в цехах.